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  • 中頻電源HQ-MF04040-1

    中頻電源HQ-MF04040-1,是廣泛應用在太陽能電池和半導體制造過程中,等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)鍍膜工藝上的特種電源。

    輸出有獨立雙通道,每通道功率可達35kW,可以輸出多種電壓波形(如方波、階梯波、雙極性脈沖波),滿足不同鍍膜工藝要求。

產品特點

? 節能環保:采用先進的軟開關技術,最高效率可達93%,比傳統電源高3%以上;

? 極低電弧能量:自主專利技術的電弧檢測和滅弧方法,確保出色的鍍膜均勻度和高良率;

? 匹配性強:多種不同電壓波形可調,輸出電壓范圍更寬,可滿足不同的鍍膜工藝要求;

? 電網諧波污染?。壕邆渲鲃庸β室蛩匦Uδ?,輸入功率因素滿載高達0.99,電流諧波小于5%;

? 可擴展:FPGA+DSP+ARM全數字化控制平臺,更智能更可靠,輕松匹配客戶的定制化需求;

? 高集成,易維護:自主專利技術的水冷設計,標準化結構設計,噪音低,操作簡單,維護便捷;

產品參數

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