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瀚強HQ-MF系列中頻電源,是廣泛應用在太陽能電池制造和真空鍍膜過程中,等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)鍍膜工藝上的特種電源。輸出有單通道、雙通道等方式,每通道功率可達15kW~60kW,可以輸出多種電壓波形(如方波、階梯波、雙極性脈沖波),滿足不同鍍膜工藝要求。