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特大喜報!熱烈祝賀瀚強射頻電源輝光放電點火成功


科普小知識:射頻電源在光伏/半導體行業的應用(部分內容整理來源于網絡)

射頻電源(Radio Frequency power supply)是可以產生固定頻率的正弦波電壓、頻率在射頻范圍(約3KHz~300GHz)內、具有一定功率的電源。

射頻電源是等離子體工業設備上的驅動源,作為等離子體的配套電源,射頻電源由射頻功率源、阻抗匹配器、阻抗功率計共同組成,主要用在鍍膜、等離子體清洗、CO2激光器等設備上??蓱糜诎雽w工業,包括刻蝕、RIE、平行板 、ICP、射頻濺射、CVD和PVD等系統,在半導體及太陽能光伏產業中硅片或晶圓的清洗、鍍膜、刻蝕等工藝流程中發揮著重要作用。

長期以來,射頻電源核心技術一直主要掌握在美、日、德等少數國家的少數廠家中,如美國的AE(Advanced Energy)、MKS(MKS Instruments)、美國的COMDEL、日本的DAIHEN、德國的Huettinger等。

全球宏觀政治經濟形勢日益復雜,美國不斷打壓遏制我國高技術產業戰略崛起的背景下,我國部分核心產業被“卡脖子”,不僅嚴重制約我國半導體產業向高級化高端化發展,同時對我國數字經濟、民生經濟和國防安全也帶來不可低估的風險。

這一次,在關系到光伏、半導體、新能源、通訊、醫療等眾多國計民生重要領域的重要產品上,深圳市瀚強科技股份有限公司挺身而出,為光伏和半導體設備的“進口替代”貢獻瀚強力量!

在某上市公司的實驗室內,瀚強射頻電源成功進行了輝光放電點火實驗,功率高達30-45KW的瀚強射頻電源,各項關鍵的技術指標已達到國際領先水平。

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